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    硅抛光片

    硅抛光片规格


    厚度(μm) 总厚度变化(μm)平整度(μm)弯曲度(μm)翘曲度(μm)颗粒度LLS(ea)
    区熔单晶硅抛光片单面抛光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
    双面抛光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
    直拉单晶硅抛光片单面抛光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
    双面抛光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm

                 注:如果几何参数有特殊要求,可以根据客户的要求制定。

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