硅抛光片
硅抛光片规格
| 厚度（μm） | 总厚度变化（μm） | 平整度（μm） | 弯曲度（μm） | 翘曲度（μm） | 颗粒度LLS(ea） | ||
| 区熔单晶硅抛光片 | 单面抛光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm |
| 双面抛光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm | |
| 直拉单晶硅抛光片 | 单面抛光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm |
| 双面抛光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm | |
注：如果几何参数有特殊要求，可以根据客户的要求制定。
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?直拉硅单晶
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硅光学产品（硅透镜、硅反射镜）
